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设备展示

VMB/P
VMB/P,即气体分流阀箱/盘,适用于制程气体的分配和压力调节



基本功能:
1、进出口压力显示
2、各支路压力调节
3、主管路扩充阀门
4、各支路高压隔离阀
5、各支路低压隔离阀
6、测试口
7、氮气吹扫

可选功能:
1、进出口PT显示
2、各支路过滤器
3、各支路逆止阀
4、主管路气动阀(仅VMB)
5、各支路气动阀(仅VMB)
6、Exaust Alarm (仅VMB)
7、各支路真空排放
8、RS485远程通讯(仅VMB)

附属设施:
1、电源 220VAC 2A
2、供气管路 316L EP 1/4 VCR
3、吹扫管路 316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)
4、真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN2
5、排放管路 316 BA 1/2 VCR
6、气动气源 316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA(仅VMB)
7、排风 4'' 风压 50Pa
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